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激光器

產(chǎn)品特點(diǎn):IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng),應(yīng)用于光學(xué)計(jì)量、193 nm步進(jìn)光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子的帶寬控制等領(lǐng)域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

產(chǎn)品價(jià)格:

廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家

更新時(shí)間:2025-06-27

產(chǎn)品型號(hào):IXION 193 SLM

訪(fǎng)問(wèn)量:2635

IXION 193 SLM激光器的詳細(xì)資料:

IXION 193 SLM激光器是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng),應(yīng)用于光學(xué)計(jì)量、193 nm步進(jìn)光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子的帶寬控制等領(lǐng)域。光譜帶寬接近其理論傅里葉極限。

該系統(tǒng)的中心波長(zhǎng)可定制,范圍在185至194 nm之間,并可在訂購(gòu)時(shí)配置為固定波長(zhǎng)。

另外,系統(tǒng)還可以集成一臺(tái)絕對(duì)光譜精度為0.001 nm的高精度光譜儀。這使得對(duì)激光光譜調(diào)諧的控制具有最大的精度。

可選

  • 圖形用戶(hù)界面

  • LabView庫(kù)

  • 精密光譜儀

  • 中心波長(zhǎng):185 ~ 194 nm

  • 符合CDRH的快門(mén)

IXION 193 SLM 激光器應(yīng)用

  • 193 nm 計(jì)量

  • 光譜儀校準(zhǔn)

  • 干涉度量

  • 準(zhǔn)分子種子源

IXION 193 SLM

波長(zhǎng)193.368 nm
平均功率10 mW
脈寬typ.8~2ns
脈沖能量1.6 µJ
重頻1~15 kHz
光束質(zhì)量M2 < 1.6
光譜帶寬< 80 MHz
光譜可調(diào)諧性> 10 pm
相干長(zhǎng)度> 2 m
脈沖穩(wěn)定性σ < 2.5 %


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