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EXCITE 系列激光器的詳細資料：
EXCITE 系列是新一代的單頻激光器，多種波長可選（1064,532,355,266 nm）。光譜帶寬小于50MHz，接近其理論帶寬的傅里葉極限。
EXCITE 系列是單頻全固態(tài)激光器系統(tǒng)，用于深紫外領域，如晶片檢測，光譜儀校準和干涉測量應用。光譜帶寬小于50MHz，接近其理論帶寬的傅里葉極限。
激光器在其衍射極限下提供了短脈寬，M2＜1.6，重復頻率1-30kHz。在波長為266nm下平均輸出功率超過150mW，在波長為355nm下平均輸出功率超過400mW。 在堅固的工業(yè)設計中具有穩(wěn)定的脈沖軌跡和超過3.0m的相干長度
EXCITE Series 應用
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晶圓檢測
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光致發(fā)光
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干涉測量法
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拉曼光譜
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全息術
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光譜儀校準
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計量
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直接干涉光刻技術
EXCITE 266 參數
| 波長 | 266 nm |
| 光譜寬度 | < 60 MHz |
| 相干長度 | > 2.5 m |
| 平均功率 | > 150 mW |
| 脈沖寬度 | 10-15 ns |
| 單脈沖能量 | > 12.5 µJ |
| 重復頻率 | 1 – 30 kHz |
| M² | < 1.7 |
| 脈沖穩(wěn)定性 | σ < 1.5% |
EXCITE 355 參數
| 波長 | 355 nm |
| 光譜寬度 | < 50 MHz |
| 相干長度 | > 3 m |
| 平均功率 | > 500 mW |
| 脈沖寬度 | 14-18 ns |
| 單脈沖能量 | > 40 µJ |
| 重復頻率 | 1 – 30 kHz |
| M² | < 1.3 |
| 脈沖穩(wěn)定性 | σ < 1.0% |
EXCITE 532 參數
| 波長 | 532 nm |
| 平均功率 | 2.5 W |
| 脈沖寬度 | 15-20 ns |
| 單脈沖能量 | 160 µJ |
| 重復頻率 | 1 – 30 kHz |
| M² | < 1.2 |
| 光譜寬度 | < 50 MHz |
| 相干長度 | > 3 m |
| 脈沖穩(wěn)定性 | σ < 0.8 % |
EXCITE 1064 參數
| 波長 | 1064 nm |
| 平均功率 | 6 W |
| 脈沖寬度 | 20-30 ns |
| 單脈沖能量 | 400 µJ |
| 重復頻率 | 1 – 30 kHz |
| M² | < 1.2 |
| 光譜寬度 | < 30 MHz |
| 相干長度 | > 5 m |
| 脈沖穩(wěn)定性 | σ < 0.3 % |
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